ASML gaat het aantal stofvrije ruimtes in Veldhoven en de Verenigde Staten flink uitbreiden om de productiecapaciteit te verhogen.

Dat heeft een woordvoerder van de chipmachinefabrikant maandag bevestigd. Hoeveel kosten aan de uitbreidingen zijn verbonden maakte hij niet bekend.

In Veldhoven, waar het bedrijf systemen voor extreme-ultraviolettechnologie (EUV) bouwt, groeit de stofvrije ruimte met circa negenduizend vierkante meter tot vijftigduizend vierkante meter. De ruimtes zijn volgens ASML halverwege 2015 af.

In de VS, waar ASML in Wilton en San Diego onderdelen voor EUV produceert, stijgt de oppervlakte van stofvrije ruimtes met respectievelijk 418 en 900 vierkante meter. De uitbreiding in Wilton moet in september 2014 zijn afgerond, terwijl San Diego tot en met 2016 gefaseerd uit zal breiden.

ASML maakte bij de derdekwartaalcijfers bekend in het vierde kwartaal omzet te kunnen behalen uit EUV, dat snellere en kleinere chips moet opleveren. Het bedrijf heeft inmiddels de eerste EUV-chipmachines verscheept. Het bedrijf verwacht nog geen winst te kunnen maken uit de techniek, vanwege de hoge aanloopkosten.