Het bedrijf ligt daardoor nog altijd op schema voor de realisatie van een recordomzet van ongeveer 5,5 miljard euro in 2011, zo liet het woensdag weten.

ASML ontving in het derde kwartaal voor 514 miljoen euro aan orders. In juli waarschuwde het bedrijf dat de bestellingen de grens van 500 miljoen euro niet zouden overstijgen. Het orderniveau lag wel aanzienlijk lager dan een jaar eerder, toen er voor 840 miljoen euro werd besteld.

De omzet van ASML kwam in het derde kwartaal uit op 1,46 miljard euro. Dat was 70 miljoen euro minder dan een kwartaal eerder, maar meer dan het bedrag van 1,4 miljard euro waarop analisten rekenden. In het derde kwartaal van 2010 realiseerde ASML een omzet van 1,18 miljard euro.

De nettowinst van het bedrijf kwam in het derde kwartaal van 2011 uit op 355 miljoen euro, tegen 432 miljoen euro een jaar geleden.

ASML verwacht in het vierde kwartaal meer orders binnen te halen dan in het afgelopen kwartaal. De omzet komt daarbij volgens het bedrijf hoger uit dan 1,1 miljard euro.

Bestuursvoorzitter Eric Meurice wilde in een toelichting geen voorspellingen doen voor de ontwikkelingen in 2012. ''Het is te vroeg welke invloed de vraag naar chips in 2012 zal hebben'', stelde hij.

''Klanten zijn heel onzeker over de toekomst'', zei financieel directeur Peter Wennink. ''Ze zijn wel zeker van de veranderingen in de technologie en sommigen geven zelfs aan daarnaast meer capaciteit nodig te hebben. Maar het is nog niet voldoende om met genoeg zekerheid een voorspelling te doen voor 2012.''